CABOT卡博特亲水型气相二氧化硅CAB-O-SIL®EL-90

产品名称：CABOT卡博特亲水型气相二氧化硅 CAB-O-SIL® EL-90

产品信息
CAB-O-SIL® EL-90 是卡博特（Cabot）公司生产的一款人工合成、亲水型的无定形气相法二氧化硅。作为气相法二氧化硅，EL-90具有高化学纯度、较窄的比表面积范围和粒径分布、高度一致的产品性能等特点。其名义BET比表面积为90 m²/g。该产品专为分散剂和浆料配方设计，用于抛光硅晶片，这一工艺通常被称为化学机械平坦化（CMP）。

产品性能
• 高化学纯度，金属污染物含量极低
• 较窄的比表面积范围和粒径分布
• 高度一致的产品性能，批次间稳定性好
• 优化抛光/去除速率
• 在晶圆上实现平坦度和均匀性
• 专为CMP（化学机械平坦化）应用而设计
• 具有增稠、触变（剪切变稀）和防沉降等流变学控制特性

产品参数
• 比表面积（BET法）：90 m²/g（名义值）
• pH值：3.6 – 4.3
• 外观：白色粉末
• SiO₂ 含量（纯度）：≥ 99.9%
• 粒径：≤ 150 纳米
• 折射率：≤ 1.46
• 密度：约 2.2 g/cm³
• 保质期：24个月
• CAS号：7631-86-9

应用领域
• 半导体行业化学机械平坦化（CMP）工艺中的抛光浆料和分散剂
• 层间介电层平坦化（ILD）
• 浅沟槽隔离（STI）
• 胶粘剂和密封胶
• 涂料、油漆
• 油墨
• 硅橡胶及弹性体的补强
• UV固化体系